| 北京金盛微納科技有限公司為國家高新技術(shù)企業(yè)、中關(guān)村高新技術(shù)企業(yè),中國真空學(xué)會(huì)理事單位，中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)，中國微米納米技術(shù)學(xué)會(huì)會(huì)員單位。主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、微細(xì)加工設(shè)備的產(chǎn)品研制、設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)銷售，并開展相關(guān)工藝的研究及應(yīng)用。主要產(chǎn)品有：勻膠機(jī)（SC）、烘膠臺(tái)（BP）、曝光機(jī)、刻蝕機(jī)（RIE、ICP、IBE）、等離子體淀積臺(tái)（PECVD）、磁控濺射臺(tái)（Sputter）、蒸發(fā)臺(tái)、去膠機(jī)、濺射/刻蝕/淀積一體機(jī)、鍵合爐等。產(chǎn)品應(yīng)用范圍涉及微電子、光電子、LED、MEMS、傳感器、平板顯示、通訊等領(lǐng)域，主要用于科研機(jī)構(gòu)、大專院校、生產(chǎn)企業(yè)和公司進(jìn)行各種器件的研究、開發(fā)和批量生產(chǎn)。 |
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